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成都中冷低溫科技有限公司
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更新時間：2025-04-21 16:06:46瀏覽次數(shù)：661次
聯(lián)系我時，請告知來自 塑料機械網(wǎng)半導(dǎo)體冷水機低溫冰水機Chiller ZL，本設(shè)備是一款水冷型冷水機，具有定時運轉(zhuǎn)、液面下降、停電復(fù)歸、水泵防凍結(jié)、可實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制、可進(jìn)行觸摸屏操控等功能。
半導(dǎo)體冷水機低溫冰水機Chiller
應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
半導(dǎo)體冷水機低溫冰水機Chiller
密閉循環(huán)系統(tǒng)
整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。
安全防護(hù)
具有自我診斷功能：相序斷相保護(hù)器、冷凍機過載保護(hù)，高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。不用更換導(dǎo)熱介質(zhì)，而且不需要加壓的情況下就可以實現(xiàn)-60℃~200℃連續(xù)控溫。
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
運行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
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