高低溫氣流循環(huán)測(cè)試機(jī) T2600 設(shè)備保養(yǎng)
T-2600 ¥8888注塑機(jī) 擠出機(jī) 造粒機(jī) 吹膜機(jī) 吹塑機(jī) 吹瓶機(jī) 成型機(jī) 吸塑機(jī) 滾塑機(jī) 管材生產(chǎn)線 板材生產(chǎn)線 型材生產(chǎn)線 片材生產(chǎn)線 發(fā)泡設(shè)備 塑料壓延機(jī)
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 塑料機(jī)械網(wǎng)ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修，AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過(guò)的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修
半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過(guò)的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤，以防止晶圓和其周圍區(qū)域結(jié)冰。
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修
應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和測(cè)試領(lǐng)域，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝等環(huán)節(jié)。在晶圓測(cè)試中，該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)晶圓溫度的精確控制，從而提高測(cè)試的準(zhǔn)確性和可靠性。在芯片封裝中，ERS Electronic AC3能夠應(yīng)對(duì)晶圓和PCB板的翹曲問(wèn)題，確保封裝的穩(wěn)定性和質(zhì)量。
zonglen chiller
溫度范圍：-20°C~+90°C
控溫精度：±0.1℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動(dòng)小
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