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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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大氣機(jī)械手Blade-S175-Ex

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-09-11 14:00:28瀏覽次數(shù)：304次

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產(chǎn)品簡介

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)，Mapping功能，SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制

詳細(xì)介紹

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用*的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢來取放晶圓，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢之選。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure

柱坐標(biāo)型/SCARA型

Cylindrical Coordinate/SCARA

負(fù)載Payload

名稱name

晶圓wafer

直徑diameter

Φ200mm/Φ300mm

重量weight

≤0.5kg

自由度數(shù)DOF

3

回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter

505mm

運(yùn)動(dòng)范圍

Moving Range

升降軸 (Z軸)

Up/Down(Z)-Axis

960mm

回轉(zhuǎn)軸 (T軸)

Rotational(T)-Axis

340°

伸展軸 (R軸)

Extension(R)-Axis

645mm

速度

Maximum Moving Speed

升降軸 (Z軸)

Up/Down( Z)-Axis

400mm/s

回轉(zhuǎn)軸 (T軸)

Rotational(T)-Axis

180°/s

伸展軸 (R軸)

Extension(Z)-Axis

＜0.8s（Home to Fullextension）

重復(fù)定位精度

Repeatability

升降軸 (Z軸)

Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回轉(zhuǎn)軸 (T軸)

Rotational(T)-Axis

±0.01°(3σ)

伸展軸 (R軸)

Extension(Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

潔凈度Clean Class

ISO CLASS 4

主機(jī)重量Body Weight

90 kg

電源Power Supply

VAC 220V±10%

行程

618mm


關(guān)鍵詞：機(jī)械手

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