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沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司
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所 在 地沈陽市
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更新時間:2023-09-11 13:43:56瀏覽次數(shù):228次
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Mask case STK,高潔凈度,非接觸供電,SEMI軟件接口,動態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能,高可靠性,設(shè)備可定制
用于FPD行業(yè)Mask case自動化搬送、存儲,與曝光機(jī)對接。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場設(shè)計(jì),可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設(shè)計(jì)和靈敏的碰撞保護(hù)功能,有效保護(hù)Cassette、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失;高剛度、高可靠性設(shè)計(jì),保護(hù)貴重Mask;標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統(tǒng),可實(shí)時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)工廠智能管理;可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制設(shè)備功能及尺寸。
參數(shù):
設(shè)備 | Stocker Crane | |
運(yùn)動軸 | 行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取 | |
有效負(fù)載 | 240kg | |
控制 | PLC | |
電源供應(yīng) | HID (CPS)+ECO | |
電機(jī) | 伺服電機(jī) | |
行走 | 速度 | 66m/min |
提升 | 速度 | 40m/min |
旋轉(zhuǎn) | 速度 | 180°/6s |
叉取 | 上/下料時間 | 11s |
叉取卡夾精度 | ±2mm |
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