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數(shù)字MEMS燃?xì)鈧鞲衅饔苫贛EMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料組成?!?/p>
數(shù)字MEMS燃?xì)鈧鞲衅饔苫贛EMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。燃?xì)獾臐舛仍礁撸瑐鞲衅鞯碾妼?dǎo)率就越高。該傳感器靈敏度高,小巧精密,預(yù)置2個(gè)引腳作為報(bào)警觸發(fā)信號輸出,可廣泛應(yīng)用于環(huán)境安全,便攜儀器等諸多領(lǐng)域。
MEMS工藝、穩(wěn)定可靠、超低功耗、高靈敏度、抗電磁干擾
便攜儀器、工礦安全、醫(yī)療衛(wèi)生、現(xiàn)場控制、氣象監(jiān)測
工作電壓 | 2.8-3.3V | 工作電流 | 0.3mA |
加熱電流 | 25mA | 加熱功率 | 80mW |
最小可檢測濃度 | 1%LEL | 可檢測濃度 | 25%LEL |
相對濕度范圍 | 5%-95% Rh | 儲存濕度范圍 | 5%-95% Rh |
工作環(huán)境溫度 | -20-70℃ | 儲存溫度范圍 | -40-85℃ |
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